解析勻膠機原理材質(zhì)的選擇
從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。
（1）旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求*涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。轉(zhuǎn)速控制方面有際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
（2）真空吸附系統(tǒng)
真空泵般采用無油泵，即通常說的干泵，因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當(dāng)真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。
勻膠機勻膠機
該勻膠機的術(shù)參數(shù)：
Speed Ⅰ調(diào)速范圍：500～2500 r/min；
Timer Ⅰ勻膠時間：0～18 s；
Speed Ⅱ轉(zhuǎn)速范圍：800～8000 r/min；
Timer Ⅱ勻膠時間：0～60 s；
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%；
電機率：40 W；
被鍍物質(zhì)尺寸：Φ12～Φ100mm。 [3]
材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點